迈昂科技
测试与测量仪器专家

企业微博 | 加入迈昂 | 网站地图

服务热线:0755-86185757

产品中心
NanoCalc薄膜反射光谱仪系统
  • 名称:NanoCalc薄膜反射光谱仪系统
  • 型号:NanoCalc
  • 品牌:Ocean Optics
  • 描述:薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层...
服务热线:0755-86185757
产品概述
主要特点
选型指南
资料下载

NanoCalc 薄膜反射测量系统

      薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。


     最常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。


技术参数

入射角

90°

层数

3层以下

需要进行参考值测量

透明材料

传输模式

粗糙材料

测量速度

100ms - 1s

在线监测

可以

公差(高度)

参考值测量或准直(74-UV)

公差(角度)

参考值测量

微黑子选项

配显微镜

显示选项

配显微镜

定位选项

6"和12" XYZ 定位台

真空

可以